В чем преимущества и недостатки метода измерения толщины пленок через рассеяние света?

Возможно, имелся в виду метод измерения толщины плёнок через комбинационное рассеяние света. pubs.rsc.org

Некоторые преимущества:

• возможность определения толщины мягких плёнок с точностью около 10 нм; pubs.rsc.org
• подходит для работы с многослойными структурами, позволяет измерять толщину и некоторые оптические константы нескольких последовательных слоёв. www.nanoindustry.su

Некоторые недостатки:

• если толщина плёнки близка к толщине первого максимума интенсивности комбинационного рассеяния, то зависимость интенсивности рассеяния от толщины плёнки становится неоднозначной, и точность снижается примерно до 20 нм; pubs.rsc.org
• потребность в информации о показателе преломления. www.nanoindustry.su

Метод основан на подробном математическом описании амплитуд падающего и рассеянного электрического поля в многослойных структурах. pubs.rsc.org