Некоторые преимущества энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии (ЭДС) по сравнению с другими методами анализа:

• Неразрушающий характер. 2 ЭДС позволяет быстро определять качественный и количественный элементный состав твёрдых и жидких образцов, порошков, гранул, пластин, плёнок, не повреждая при этом образец. 2
• Возможность идентификации элементов. 1 Поскольку характеристическое рентгеновское излучение имеет конкретную энергию, соответствующую каждому элементу, можно проводить идентификацию элементов. 1
• Анализ тяжёлых элементов. 1 Метод ЭДС наиболее полезен для анализа тяжёлых элементов, особенно когда концентрация элемента является низкой. 1
• Контроль процесса производства. 1 ЭДС предоставляет возможность контролировать процесс производства, а также анализировать готовые устройства с целью поиска неисправностей. 1
• Определение толщины и элементного состава тонких плёнок и покрытий. 2 Программное обеспечение современных спектрометров позволяет выполнять такие измерения. 2