В чём преимущества энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии по сравнению с другими методами анализа?

Некоторые преимущества энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии (ЭДС) по сравнению с другими методами анализа:

• Неразрушающий характер. cyberleninka.ru ЭДС позволяет быстро определять качественный и количественный элементный состав твёрдых и жидких образцов, порошков, гранул, пластин, плёнок, не повреждая при этом образец. cyberleninka.ru
• Возможность идентификации элементов. sernia.ru Поскольку характеристическое рентгеновское излучение имеет конкретную энергию, соответствующую каждому элементу, можно проводить идентификацию элементов. sernia.ru
• Анализ тяжёлых элементов. sernia.ru Метод ЭДС наиболее полезен для анализа тяжёлых элементов, особенно когда концентрация элемента является низкой. sernia.ru
• Контроль процесса производства. sernia.ru ЭДС предоставляет возможность контролировать процесс производства, а также анализировать готовые устройства с целью поиска неисправностей. sernia.ru
• Определение толщины и элементного состава тонких плёнок и покрытий. cyberleninka.ru Программное обеспечение современных спектрометров позволяет выполнять такие измерения. cyberleninka.ru