Преимущества ближнепольной сканирующей микроскопии перед оптической:

• Лучшее разрешение. 12 Это достигается детектированием рассеяния света от изучаемого объекта на расстояниях меньших, чем длина волны света. 1
• Получение растровых изображений с разрешением ниже дифракционного предела. 12 Разрешающая способность определяется лишь размером апертуры зонда микроскопа. 2
• Возможность исследовать оптические свойства отдельных объектов нанометрового размера. 5 Анализируя взаимодействие света с неоднородной поверхностью методами классической оптики, приходится усреднять влияние многих факторов (дефектов, примесей и т. д.). 5 Применение ближнепольной сканирующей микроскопии позволяет преодолеть это ограничение. 5