Особенности конструкции сканирующего электронного микроскопа (СЭМ):

• Источник электронов. 1 Тонкий электронный зонд генерируется электронной пушкой, которая играет роль источника электронов. 2
• Оптическая система. 1 Она включает в себя электронные линзы (обычно электромагнитные, иногда электростатические) и сканирующие катушки, которые образуют систему, называемую электронной колонной. 2
• Камера с образцом. 1 В каждом СЭМ есть предметный столик, позволяющий перемещать образец минимум в трёх направлениях. 2
• Детекторы. 1 При взаимодействии электронов с объектом возникают несколько видов сигналов, каждый из которых улавливается специальным детектором. 2
• Система откачки. 1 Она необходима для создания вакуума в микроскопе, так как в воздухе электрон не сможет долететь от источника до образца. 1