В чем особенности конструкции сканирующего электронного микроскопа?

Особенности конструкции сканирующего электронного микроскопа (СЭМ):

• Источник электронов. nsp.phys.spbu.ru Тонкий электронный зонд генерируется электронной пушкой, которая играет роль источника электронов. ru.wikipedia.org
• Оптическая система. nsp.phys.spbu.ru Она включает в себя электронные линзы (обычно электромагнитные, иногда электростатические) и сканирующие катушки, которые образуют систему, называемую электронной колонной. ru.wikipedia.org
• Камера с образцом. nsp.phys.spbu.ru В каждом СЭМ есть предметный столик, позволяющий перемещать образец минимум в трёх направлениях. ru.wikipedia.org
• Детекторы. nsp.phys.spbu.ru При взаимодействии электронов с объектом возникают несколько видов сигналов, каждый из которых улавливается специальным детектором. ru.wikipedia.org
• Система откачки. nsp.phys.spbu.ru Она необходима для создания вакуума в микроскопе, так как в воздухе электрон не сможет долететь от источника до образца. nsp.phys.spbu.ru