В чем особенности фокусного ионного пучка FIB?

Особенности сфокусированного ионного пучка (FIB):

• Использование ионов вместо электронов. ru.wikipedia.org ru.ruwiki.ru Это существенно меняет процессы на поверхности исследуемого образца. ru.wikipedia.org
• Ионы больше электронов. ru.wikipedia.org Они не могут так легко проникать в отдельный атом образца. ru.wikipedia.org Взаимодействие в основном включает внешнюю оболочку и приводит к ионизации и разрушению химических связей атомов на поверхности. ru.wikipedia.org
• Ионы тяжелее электронов. ru.wikipedia.org Поэтому они могут приобретать больший импульс. ru.wikipedia.org Так, при одной энергии с электроном, импульс иона может превышать импульс электрона в 370 раз. ru.wikipedia.org
• Ионы имеют положительный заряд, а электроны — отрицательный. ru.wikipedia.org Это различие влияет на полярность поля, контролирующего и ускоряющего пучок ионов. ru.wikipedia.org

Некоторые другие особенности FIB:

• Возможность обрабатывать поверхность образца с высокой точностью. libeldoc.bsuir.by Можно удалить слой с поверхности на глубину равную атомному размеру, при этом совершенно не затрагивая следующий слой. libeldoc.bsuir.by
• При подаче высокого тока ионный пучок с лёгкостью разрезает образец с микронной точностью. libeldoc.bsuir.by Это позволяет заглянуть вглубь образца на необходимый слой, без предварительного травления поверхности. libeldoc.bsuir.by
• Современные FIB оснащены собственной системой изображений. libeldoc.bsuir.by Поэтому нет необходимости использовать электронный микроскоп для контроля процесса обработки, а также можно наблюдать за процессом в режиме реального времени. libeldoc.bsuir.by