В чем основные отличия между сканирующей и просвечивающей электронной микроскопией?

Некоторые основные отличия между сканирующей и просвечивающей электронной микроскопией:

• Принцип работы. usps.ru Сканирующая электронная микроскопия (СЭМ) сканирует образец узким электронным пучком по растровой траектории и регистрирует испущенные при этом электроны. usps.ru Просвечивающая электронная микроскопия (ПЭМ) предполагает изучение тонких образцов с помощью пучка электронов, проходящих сквозь них и взаимодействующих с ними. ftfsite.ru
• Источник сигнала. usps.ru В СЭМ основными источниками сигнала для изображения являются вторичные электроны и обратнорассеянные электроны, образующиеся при взаимодействии электронного пучка с поверхностным слоем образца. usps.ru В ПЭМ основной сигнал — это пропущенные через образец электроны. usps.ru
• Ускоряющее напряжение. usps.ru СЭМ обычно работает при ускоряющем напряжении порядка 1–30 кВ, что позволяет настраивать глубину проникновения пучка. usps.ru В ПЭМ используются более высокие напряжения — 30–300 кВ, иногда выше. usps.ru
• Разрешение. usps.ru Разрешающая способность СЭМ — 0,5–2 нм. usps.ru Современные ПЭМ достигают разрешения менее 0,1 нм, что позволяет видеть атомную структуру материалов. usps.ru
• Глубина резкости. usps.ru Глубина резкости СЭМ гораздо выше, чем у ПЭМ, что позволяет получать изображение рельефных образцов с псевдо-3D эффектом. usps.ru У ПЭМ глубина мала, и детали вне фокуса сильно размываются. usps.ru
• Требования к образцу. usps.ru СЭМ допускает относительно «толстые» образцы, но требует проводящего покрытия. usps.ru ПЭМ требует очень тонких (до 100 нм и меньше) образцов, способных пропускать электронный пучок. usps.ru
• Области применения. usps.ru СЭМ (SEM) используется для топографии поверхностей, контроля качества, микроанализа в металлургии, микроэлектронике, геологии, биологии. usps.ru ПЭМ (TEM) применяется для анализа внутренней структуры, кристалличности, наночастиц, вирусов, клеток, изучения атомных дефектов и фазовых границ. usps.ru