Тонкая плёнка металла не может быть использована в качестве канала полевого транзистора, потому что при подаче положительного напряжения на затвор часть электронов канала будет участвовать в создании поверхностного заряда и притянется полем к затвору. 1 В результате концентрация электронов, которые смогут участвовать в прохождении тока по каналу, уменьшится, а сопротивление канала увеличится. 1

Кроме того, в сверхтонких металлических плёнках высокая плотность дефектов и большое количество межкристаллитного аморфного материала приводят к повышенному числу столкновений электронов с дефектами и поверхностью плёнки, что уменьшает время жизни электронов, их энергию и подвижность. 3 В таких условиях электронный ток не подчиняется закону Ома, в результате резко увеличивается удельное сопротивление и уменьшается ток в металлическом канале. 3