Почему в фотолитографии важно контролировать дозу и время экспонирования?

Алиса

На основе источников, возможны неточности

Как это работает?

Контроль дозы и времени экспонирования в фотолитографии важен по нескольким причинам:

Подбор оптимальной дозы. ru.ruwiki.ru Для каждого фоторезиста есть определённое значение дозы (мДж/см²), необходимой для его экспонирования. ru.ruwiki.ru При недостаточной дозе могут возникнуть проблемы с проявлением фоторезиста, а чрезмерное экспонирование может вызвать повреждения плёнки фоторезиста. ru.ruwiki.ru

Определение оптимального времени экспонирования. studizba.com Время экспонирования должно быть достаточным для полной фотополимеризации экспонированных участков и, вместе с тем, минимально возможным для уменьшения потери разрешения. studizba.com

Кроме того, контроль параметров экспонирования влияет на производительность фотолитографических установок: от мощностных параметров зависит, например, измеряемая в пластинах в час (wph) производительность. ru.ruwiki.ru

Примеры полезных ответов Поиска с Алисой на вопросы из разных сфер. Вопросы сгенерированы нейросетью YandexGPT для актуальных тем, которые определяются на базе обобщённых запросов к Поиску с Алисой.

Пожаловаться на контент

Пользовательское соглашение

Связаться с нами

Задать новый вопрос

Как это работает?