В электронных микроскопах требуется вакуумирование рабочей камеры, потому что электроны легко рассеиваются молекулами газа в воздухе, что искажает изображение и снижает разрешающую способность. 1

При создании среды с высоким вакуумом удаляется большая часть молекул воздуха, что позволяет электронному лучу свободно проходить через образец, не взаимодействуя ни с какими молекулами газа. 1 Это улучшает качество изображения и обеспечивает более высокое увеличение и разрешение. 1

Кроме того, вакуумная среда также помогает предотвратить загрязнение и окисление поверхности образца, что также может повлиять на качество изображения. 1

Также вакуумная система служит для откачки воздуха до низкого остаточного давления из области, в которой распространяется пучок электронов, и обеспечивает уменьшение частоты столкновений электронов с атомами остаточного газа до незначительного уровня — увеличение длины свободного пробега. 4