Вопросы к Поиску с Алисой

Примеры ответов Поиска с Алисой
Главная / Наука и образование / Почему ультрафиолетовое излучение важно для фотолитографии в наноэлектронике?
Вопрос для Поиска с Алисой
9 февраля

Почему ультрафиолетовое излучение важно для фотолитографии в наноэлектронике?

Алиса
На основе источников, возможны неточности

Ультрафиолетовое излучение важно для фотолитографии в наноэлектронике, потому что позволяет добиться более высокого разрешения по сравнению с классической фотолитографией, в которой используется свет с длиной волны около 400 нм. libeldoc.bsuir.by stimul.online

При ультрафиолетовой литографии (EUV-литографии) используется излучение на длине волны около 13,5 нм, что даёт возможность изготавливать элементы с размерами в несколько десятков нанометров. libeldoc.bsuir.by

Однако высокая энергия фотонов ультрафиолетового излучения ионизирует компоненты фоторезиста, генерируя вторичные электроны, которые способствуют нежелательным химическим реакциям в процессе экспонирования. libeldoc.bsuir.by Поэтому без подготовки фоторезисты не могут использоваться в данном методе, поскольку имеют высокую чувствительность и будут разрушаться. libeldoc.bsuir.by

Примеры полезных ответов Поиска с Алисой на вопросы из разных сфер. Вопросы сгенерированы нейросетью YandexGPT для актуальных тем, которые определяются на базе обобщённых запросов к Поиску с Алисой.
Задать новый вопрос
Задайте вопрос...
…и сразу получите ответ в Поиске с Алисой
Войдите, чтобы поставить лайк
С Яндекс ID это займёт пару секунд
Войти
Mon Jul 28 2025 17:04:21 GMT+0300 (Moscow Standard Time)