Примесь сурьмы эффективно используется для легирования кремния по нескольким причинам:

• Небольшой коэффициент диффузии. 1 По этой причине сурьма из подложки практически не переходит в созданный на ней эпитаксиальный слой или слой, созданный другим методом. 2
• Практически чисто замещающая диффузия. 1 Она происходит без промежуточных соединений, поэтому сурьма свободна от аномальных эффектов. 1
• Более низкая концентрация примесей кислорода. 1 Кремний, сильно легированный сурьмой, имеет более низкую концентрацию примесей кислорода, что делает его пригодным для эпитаксиальных подложек. 1

Сурьма относится к легирующей примеси n-типа и применяется для получения кристаллов кремния электронного типа проводимости с низким удельным сопротивлением. 15