Почему примесь сурьмы эффективно используется для легирования кремния?

Примесь сурьмы эффективно используется для легирования кремния по нескольким причинам:

• Небольшой коэффициент диффузии. en.wikipedia.org По этой причине сурьма из подложки практически не переходит в созданный на ней эпитаксиальный слой или слой, созданный другим методом. yandex.ru
• Практически чисто замещающая диффузия. en.wikipedia.org Она происходит без промежуточных соединений, поэтому сурьма свободна от аномальных эффектов. en.wikipedia.org
• Более низкая концентрация примесей кислорода. en.wikipedia.org Кремний, сильно легированный сурьмой, имеет более низкую концентрацию примесей кислорода, что делает его пригодным для эпитаксиальных подложек. en.wikipedia.org

Сурьма относится к легирующей примеси n-типа и применяется для получения кристаллов кремния электронного типа проводимости с низким удельным сопротивлением. en.wikipedia.org studfile.net