Вакуумная система важна при рентгенофлуоресцентном анализе, потому что позволяет избежать поглощения длинноволновых рентгеновских лучей более лёгкими элементами, которые присутствуют в атмосфере обычного оборудования для анализа. 1
Без вакуумной системы или системы, заполненной другим веществом (например, H2 или He), в процессе анализа невозможно обнаружить элементы тяжелее кальция. 1
Таким образом, использование вакуумной системы повышает чувствительность рентгенофлуоресцентного анализа, особенно при исследовании лёгких элементов. 24