Палеонтологические находки тихоходок крайне редки из-за их микроскопических размеров и мягкого тела. 2 Вероятность того, что эти животные окаменеют, невелика. 2

На данный момент известно о пяти ископаемых находках тихоходок, из которых 4 происходят из янтарей мелового и палеогенового возраста, ещё одна — из кембрийского лаггерштетта в Сибири. 1