Оже-спектроскопия считается эффективным методом поверхностного анализа по следующим причинам:

• Возможность анализировать элементный состав тонкой приповерхностной области толщиной 0,5–2,0 нм. 1 Глубина детектирования составляет 1–3 нм. 2
• Быстрота получения информации. 1 Метод позволяет быстро получить сведения обо всех элементах на поверхности, их состоянии и количестве. 1
• Высокая чувствительность. 13 Минимальная концентрация примесей, которую можно обнаружить с помощью оже-спектроскопии, составляет около одной тысячной монослоя. 3
• Возможность количественного анализа. 3 Выход оже-электронов и, следовательно, интенсивность соответствующего оже-пика, пропорциональны атомной концентрации данного элемента на поверхности. 3