Оптические интерферометры считаются высокоточными приборами, потому что интерференционная картина смещается заметно даже при небольших изменениях разности хода. 2 Это позволяет проводить точные измерения, например, длины и формы оптических компонентов с нанометровой точностью. 4

Также высокая точность и стабильность измерений достигаются благодаря использованию метода фазовой синхронизации, который позволяет компенсировать эффекты, связанные с оптическими путями, такие как смещение и деформация. 1