Оксидная плёнка на металле становится непрозрачной при толщине более 500 нм, потому что с увеличением толщины плёнки в её структуре происходят превращения, в результате которых образуются оксиды с присущими им типом и параметрами кристаллической решётки и плотностью. 2

Кроме того, рост плёнок по толщине приводит к образованию внутренних напряжений в оксидных плёнках. 4 Источником этих напряжений является увеличение объёма оксида относительно основного металла и различие в коэффициентах термического расширения оксида и металла. 4

Также непрозрачность может быть связана с появлением в плёнке дефектов в виде пузырей или расслоений, которые тормозят процессы встречной диффузии ионов кислорода и металла. 3