Оксид алюминия используют в микроэлектронике и оптике благодаря ряду преимуществ:

• Превосходная теплопроводность. 1 Оксид алюминия позволяет быстрее отводить тепло от чувствительных компонентов, защищая их от перегрева. 2 Это особенно важно в мощной электронике и устройствах с высокой плотностью компонентов, где перегрев может привести к отказам или сокращению срока службы компонентов. 2
• Высокая электроизоляция. 1 Оксид алюминия может выдерживать значительные электрические напряжения без разрушения. 1
• Механическая прочность и долговечность. 1 Оксид алюминия обеспечивает надёжную работу даже в средах, подверженных механическим нагрузкам. 1
• Стабильная работа в экстремальных условиях. 1 Устойчивость оксида алюминия к химической деградации и коррозии в сочетании с его высокой рабочей температурой (до 1600 °C) позволяет ему стабильно работать в суровых условиях. 1

Кроме того, тонкие плёнки оксида алюминия, полученные методом атомно-слоевого осаждения, используют в технологическом процессе изготовления микроэлектронных устройств СВЧ — это подзатворные диэлектрики, изолирующие слои, защита МИС от коррозии. 4