Почему нитрид алюминия стал важным материалом в микроэлектронике?

Нитрид алюминия (AlN) стал важным материалом в микроэлектронике благодаря ряду свойств, среди которых:

• Теплопроводность. 1 Материал может эффективно передавать тепло, что важно для устройств, где необходимо рассеивание тепла, например в модулях питания, светодиодах и мощных интегральных схемах. 1 Использование нитрида алюминия в качестве подложки или радиатора помогает предотвратить перегрев и повысить производительность и надёжность устройств. 1
• Электрическая изоляция. 1 Материал обладает высоким напряжением пробоя и низкими диэлектрическими потерями, что делает его пригодным для электроизоляции. 1 Его часто используют в качестве подложки или изолирующего слоя в электронных компонентах, микроволновых устройствах и высокочастотных схемах. 1
• Соответствие термическому расширению. 1 Коэффициент теплового расширения нитрида алюминия аналогичен кремнию, который обычно используется в электронных устройствах. 1 Это свойство обеспечивает лучшую совместимость и связь между нитридом алюминия и кремнием, снижая риск термического напряжения и растрескивания в интегральных схемах и других устройствах на основе кремния. 1
• Широкая запрещённая зона. 14 Материал имеет высокую электрическую прочность на пробой и может выдерживать высокие напряжения. 1 Это свойство делает его полезным для применений с высокой мощностью и высокими температурами, таких как силовая электроника, высоковольтные переключатели и высокочастотные устройства. 1
• Химическая стабильность. 1 Нитрид алюминия химически стабилен и устойчив ко многим агрессивным веществам, включая кислоты и щелочи. 1 Эта стабильность делает его пригодным для применения в суровых условиях, таких как химическая обработка, аэрокосмическая и автомобильная промышленность. 1