Почему молекулярно-лучевая эпитаксия проводится в сверхвысоком вакууме?

Молекулярно-лучевая эпитаксия (МЛЭ) проводится в сверхвысоком вакууме, потому что это позволяет молекулам вещества распространяться практически по прямой, не испытывая соударения с молекулами газа. ru.wikipedia.org

В таких условиях атомы в пучках движутся по инерции, не сталкиваясь друг с другом или какими-либо иными атомами. www.unn.ru Достигая подложки, они конденсируются на ней. www.unn.ru

Кроме того, сверхвысокий вакуум обеспечивает высокую чистоту процесса, что важно для получения качественных структур. solid.phys.spbu.ru