Манометр Пирани считается более точным, чем ионизационный манометр, благодаря своему принципу работы. 15

Манометр Пирани состоит из металлической проволоки, которая нагревается протекающим через неё током и охлаждается окружающим газом. 1 При уменьшении давления газа охлаждающий эффект тоже уменьшается, и равновесная температура проволоки увеличивается. 1 Сопротивление проволоки является функцией температуры: измеряя напряжение на проволоке и текущий через неё ток, можно определить сопротивление (и таким образом давление газа). 1

Ионизационные манометры измеряют давление косвенно через измерение ионов, образующихся при бомбардировке газа электронами. 1 Чем меньше плотность газа, тем меньше ионов будет образовано. 1 Однако калибрование ионизационных манометров нестабильно и зависит от природы измеряемых газов, которая не всегда известна. 1