Коэффициент излучения кремния может варьироваться в зависимости от покрытия, потому что толщина диэлектрического слоя и угол наблюдения влияют на коэффициент излучения комбинированной системы «кремний — слой». 1
Например, в случае с кремнием, покрытым слоями Si3N4 или SiO2, коэффициент излучения может варьироваться от 0,66 до 1,0 в зависимости от толщины слоя. 1
Также на коэффициент излучения влияет длина волны излучения и толщина диэлектрика на кремнии. 4 Так, при толщине двуокиси кремния, кратной четверти длины волны, коэффициент отражения от диэлектрика резко уменьшается и составляет менее 1%, то есть вся падающая энергия поглощается кремнием. 4