Интерферометры считаются одними из самых точных измерительных приборов, потому что интерференционная картина смещается заметно даже при небольших изменениях разности хода. 13 Это позволяет проводить точные измерения, например, длины и формы оптических компонентов с нанометровой точностью. 2

Также высокая точность достигается благодаря применению интерферометров в одночастотных лазерах, что позволяет улучшить и автоматизировать технику интерферометрических измерений. 1 Например, в лазерных интерферометрах производится фотоэлектрическая регистрация разности хода, выраженной непосредственно в длинах волн. 1

Ещё одно преимущество интерферометров — возможность измерять с высокой точностью большие линейные перемещения тел (достигающие нескольких метров) благодаря высокой монохроматичности и когерентности лазерного излучения. 3