Функция delayMicroseconds() может давать неточные результаты при задержках меньше 3 микросекунд из-за того, что время задержки вычисляется без учёта вызова и возврата в функцию. 1
Согласно документации, функция работает с высокой точностью только в диапазоне от 3 микросекунд и выше, для более коротких задержек точная работа delayMicroseconds() не гарантируется. 35