Электрическая прочность твёрдых диэлектриков не зависит от толщины в определённых пределах в однородном поле в отсутствие разрядов на поверхности и в порах, а также объёмных зарядов. 5 Это происходит при толщине образцов больше 10–20 мкм. 5

При меньшей толщине (h ≤ 10–20 мкм) наблюдается электрическое упрочнение — резкое возрастание электрической прочности при уменьшении толщины. 5 Это связано с уменьшением средней длины пробега электрона при уменьшении толщины диэлектрика. 5 При этом для приобретения электроном энергии, равной энергии ионизации диэлектрика, требуется большая напряжённость электрического поля. 5

При тепловом пробое электрическая прочность уменьшается с ростом толщины диэлектрика вследствие увеличения его неоднородности и ухудшения теплоотдачи. 1