Длина свободного пробега в вакууме значительно больше, чем в плотной газовой среде, из-за меньшего количества столкновений частиц. 1
В вакууме средняя длина свободного пробега испарённых частиц (среднее расстояние, которое проходит частица до столкновения с другой частицей) увеличивается. 1 Это означает, что испаренные частицы могут перемещаться от источника к подложке, не отклоняясь и не рассеиваясь в результате столкновений с молекулами газа. 1
Напротив, в невакуумной среде частые столкновения с молекулами газа уменьшают энергию частиц, что приводит к образованию менее прилипающей и более пористой плёнки. 1
Также стоит отметить, что при заданной температуре средняя длина свободного пробега обратно пропорциональна давлению газа. 2