Высокие значения диэлектрической проницаемости некоторых оксидов металлов и других соединений обусловлены особенностями их структуры. 1 Под действием электрического поля происходит коллективное смещение подрешёток положительных и отрицательных ионов в противоположных направлениях и образование значительных связанных зарядов на границе кристалла. 1

Также на величину диэлектрической проницаемости влияет микроструктура образца — размер и форма частиц, пористость и плотность керамики. 2 В этом случае играют роль процессы поляризации Максвелла–Вагнера и накопления зарядов на границах неоднородностей, в частности на границах зёрен. 2

Ещё один фактор, который может приводить к увеличению диэлектрической проницаемости, — термобарическая обработка. 2 Это связано с влиянием температуры и высокого давления на анизотропный характер изменения межатомных расстояний. 2