Преимущества ёмкостных датчиков в сравнении с другими типами датчиков:

• простота изготовления и использования недорогих материалов; 1
• малые габариты и вес; 1
• низкое потребление энергии; 1
• высокая чувствительность; 1
• отсутствие контактов (в некоторых случаях — один токосъём); 1
• долгий срок эксплуатации; 1
• потребность весьма малых усилий для перемещения подвижной части ёмкостного датчика; 1
• простота приспособления формы датчика к различным задачам и конструкциям. 1

Недостатки ёмкостных датчиков:

• сравнительно небольшой коэффициент передачи (преобразования); 1
• высокие требования к экранировке деталей; 1
• необходимость работы на повышенной (по сравнению с 50 Гц) частоте; 1
• слабая устойчивость к загрязнениям и образованию конденсата на поверхности, что отрицательно сказывается на точности и повторяемости изменений и пороге срабатывания. 4