Каковы преимущества и недостатки CVD по сравнению с другими методами осаждения из газовой фазы?

Преимущества CVD по сравнению с другими методами осаждения из газовой фазы:

• Универсальность. www.chem.msu.su Метод позволяет наносить покрытия на широкий спектр элементов и соединений. dzen.ru
• Гибкость процесса. www.chem.msu.su Можно наносить одно- и двухсторонние плёнки на детали сложной формы и большой площади. www.chem.msu.su
• Высокая скорость осаждения (до нескольких миллиметров в час) при сохранении высокого качества плёнки. www.chem.msu.su
• Получение покрытий или веществ высокой химической чистоты (обычно 99,99…99,999%). ritm-magazine.com
• Возможность наносить покрытия в труднодоступных местах (отверстия малого диаметра, внутренние полости труб, сосудов и проч.). ritm-magazine.com

Недостатки CVD:

• Высокая сложность процессов, происходящих при осаждении плёнки. portal.tpu.ru
• Необходимость нагрева подложки до более высокой температуры, чем при физическом осаждении плёнок из паровой фазы. portal.tpu.ru
• Высокая токсичность, взрывоопасность и коррозионная активность реакционных газов, используемых в процессе осаждения, и продуктов химических реакций. portal.tpu.ru
• Ограниченный выбор материалов подложки вследствие возможности диффузии, сплавления и протекания на поверхности подложки химических реакций при высокой температуре. portal.tpu.ru
• Трудности в осуществлении контроля осаждения однородной плёнки. portal.tpu.ru
• Как правило, отсутствие возможности маскирования подложки. portal.tpu.ru