Преимущества CVD по сравнению с другими методами осаждения из газовой фазы:

• Универсальность. 2 Метод позволяет наносить покрытия на широкий спектр элементов и соединений. 5
• Гибкость процесса. 2 Можно наносить одно- и двухсторонние плёнки на детали сложной формы и большой площади. 2
• Высокая скорость осаждения (до нескольких миллиметров в час) при сохранении высокого качества плёнки. 2
• Получение покрытий или веществ высокой химической чистоты (обычно 99,99…99,999%). 4
• Возможность наносить покрытия в труднодоступных местах (отверстия малого диаметра, внутренние полости труб, сосудов и проч.). 4

Недостатки CVD:

• Высокая сложность процессов, происходящих при осаждении плёнки. 1
• Необходимость нагрева подложки до более высокой температуры, чем при физическом осаждении плёнок из паровой фазы. 1
• Высокая токсичность, взрывоопасность и коррозионная активность реакционных газов, используемых в процессе осаждения, и продуктов химических реакций. 1
• Ограниченный выбор материалов подложки вследствие возможности диффузии, сплавления и протекания на поверхности подложки химических реакций при высокой температуре. 1
• Трудности в осуществлении контроля осаждения однородной плёнки. 1
• Как правило, отсутствие возможности маскирования подложки. 1