Вопросы к Поиску с Алисой
Некоторые сферы применения моносилана (SiH4) в микроэлектронике и полупроводниковой продукции: habr.com
Также моносилан применяют при изготовлении ЖК-экранов, подложек и технологических слоёв интегральных схем. ru.ruwiki.ru ru.wikipedia.org