Температура истощения примеси в полупроводниках определяет нижнюю границу рабочего диапазона температур полупроводника. 1

При этой температуре происходит истощение примеси, то есть ионизация всех её атомов. 1 Собственная электропроводность ещё не проявляется, так как энергия электронов недостаточна для того, чтобы они могли преодолевать запрещённую зону. 1

Температура истощения примеси тем выше, чем выше энергия активации примеси и её концентрация. 2 Например, для германия с уровнем легирования ND = 1022 м-3 и энергии ионизации примеси Wион = 0,01 эВ температура её истощения составляет 32 К. 1