Ультрафиолетовые лучи оказывают различное влияние на клеточную структуру микроорганизмов в зависимости от мощности излучения и его уровня плотности: 1

• При высоком уровне плотности (мощность 1–10 кВт/см²) температура бактерий и микроорганизмов поднимается выше 130 °С, что приводит к термическому разрушению их оболочки под воздействием внутреннего давления. 1
• При среднем уровне плотности ультрафиолетового излучения термического воздействия на клетку не происходит. 1 Однако внешняя оболочка клетки поглощает излучение, что в дальнейшем ведёт к смерти клетки. 1
• При низком уровне плотности ультрафиолетового излучения разрушения клетки не происходит, но удаётся прервать её способность к делению и размножению. 1

Гибель микроорганизмов под действием ультрафиолетовых лучей связана с инактивацией клеточных ферментов, разрушением нуклеиновых кислот, а также с образованием в облучаемой среде перекиси водорода, озона и других веществ. 4

Наиболее устойчивыми к действию ультрафиолетовых лучей являются споры бактерий, затем споры грибов и дрожжей, далее окрашенные (пигментированные) клетки бактерий, наименее устойчивы вегетативные клетки бактерий. 4