Для изучения молекулярных процессов на наноуровне используется различное оборудование, среди которого:
- Просвечивающая электронная микроскопия. 1 Позволяет получить изображения с высоким разрешением до 0,1 нм при размере исследуемого фрагмента до 50 нм. 1
- Растровая электронная микроскопия. 1 Даёт возможность получить изображение объекта сфокусированным лучом электронов. 1
- Сканирующая туннельная микроскопия. 12 Метод основан на создании электрического напряжения между зондом и образцом. 1 В зазоре возникает туннельный ток, который зависит от свойств и конфигурации атомов на поверхности исследуемого образца. 1
- Электронная Оже-спектроскопия. 1 Позволяет исследовать поверхность на глубине 0,5–3,0 нм с разрешением по поверхности до 50 нм. 1
- Масс-спектроскопия вторичных ионов. 1 Метод основан на распылении поверхности исследуемого материала пучком ионов с последующим анализом продуктов распыления. 1
- Нанотвёрдомеры и ультра-нанотвёрдомеры. 1 Инструменты, которые реализуют метод непрерывного инструментального индентирования и позволяют исследовать твёрдость материалов. 1
- Скретч-тестеры. 1 В них реализуется метод измерительного царапания, в процессе измерения регистрируются прилагаемая тангенциальная сила, глубина погружения индентора и акустическая эмиссия. 1
- Калотест/Каловеар. 1 Семейство приборов, в которых реализован метод шарового истирания, позволяющий определять толщину слоёв покрытий и степень износа покрытия, плёнки и материала субстрата. 1