В DFD-диаграммах выделяют следующие уровни детализации: 1

1. Концептуальный (или контекстный) уровень. 1 Показывает общее описание процесса, который реализуется при потоке данных. 1 Отображает абстрактно потоки данных, связанные с разными внешними сущностями. 1
2. Логический уровень. 1 Отображает логику преобразования данных в системе в каждом процессе. 1 Видны входные, промежуточные, выходные данные в каждом процессе, который протекает от внешней сущности до хранилищ данных. 1
3. Физический уровень. 1 Включает точное отображение хранилищ данных, названий сущностей данных. 1 Диаграмма физического уровня должна отвечать на вопрос «Как будет реализован процесс передачи и потока данных». 1

Также уровни диаграммы могут обозначаться цифрами 0, 1, 2, 3 и так далее, в зависимости от уровня детализации. 15