Существует несколько типов точечных дефектов:
- Вакансии. 12 Дефект, который образуется, когда один из узлов решётки оказывается не занятым атомом. 1
- Межузельные атомы. 12 Избыточные, лишние атомы, располагающиеся между регулярными узлами решётки. 1
- Примесные дефекты: 2
- Примесь замещения. 2 Примесные атомы, расположенные в узлах кристаллической решётки. 2 Как правило, это примеси, размер которых больше матричных атомов. 2
- Примесь внедрения. 2 Примесные атомы, занимающие любую из конфигураций междоузельных атомов. 2 Как правило, положение внедрения занимают примеси, размер которых меньше размера матричного атома. 2
- Мелкие кластеры примесных атомов. 2 Образования, состоящие из нескольких примесных атомов. 2 Их размеры сравнимы с межатомными. 2
Точечные дефекты могут появиться в твёрдых телах вследствие нагревания, облучения быстрыми частицами, отклонения состава химических соединений от стехиометрии или пластической деформации. 3