Какие существуют типы дефектов кристаллической решетки полупроводников?
Дефекты кристаллической решётки полупроводников можно разделить на четыре группы: 3
- Точечные (нульмерные). 25 Связаны со смещением или заменой небольшой группы атомов, а также с примесями. 5 Некоторые типы:
- Вакансия — свободный, незанятый атомом, узел кристаллической решётки. 5
- Собственный межузельный атом — атом основного элемента, находящийся в междоузельном положении элементарной ячейки. 5
- Примесный атом замещения — замена атома одного типа атомом другого типа в узле кристаллической решётки. 5
- Примесный атом внедрения — атом примеси располагается в междоузлии кристаллической решётки. 5
- Дефект по Френкелю — пара, состоящая из межузельного иона и оставленной им вакансии. 4
Линейные (одномерные). 2 К ним относятся дислокации, в которых сильные отклонения от периодичности наблюдаются вдоль линии, и микротрещины. 2
Поверхностные (двумерные). 2 Например, границы кристалла и зёрен поликристалла, дефекты упаковки, межфазные границы, стенки доменов, а также поверхность кристалла. 2
Объёмные (трёхмерные). 25 К ним относятся скопления вакансий, образующие поры и каналы, частицы, оседающие на различных дефектах, скопления примесей в виде секторов и зон роста. 5
Кроме того, существуют специфические дефекты полупроводников, например, акцептор — дефект в виде примесного атома, который может захватывать электроны из валентной зоны у доноров, образуя при этом дырки, участвующие в электропроводности, и донор — дефект, способный отдавать электроны в зону проводимости. 4
