Основной способ получения рентгеновского излучения в современных приборах связан с процессом взаимодействия быстрых электронов с различными мишенями в рентгеновских трубках. 2

В таких трубках электроны, испущенные катодом, ускоряются под действием разности электрических потенциалов между анодом и катодом и ударяются об анод, где происходит их резкое торможение. 1 При этом генерируется тормозное излучение в рентгеновском диапазоне с непрерывным спектром и одновременно выбиваются электроны из внутренних электронных оболочек атомов анода. 1 На пустые места (вакансии) в оболочках переходят другие электроны атома из его внешних оболочек, что приводит к испусканию рентгеновского излучения с характерным для материала анода линейчатым спектром энергий (характеристическое излучение). 1

Ещё один способ получения рентгеновского излучения основан на возбуждении атомов наружной поверхности мишени. 2 Для этого формируют при пониженном давлении поток жидкой среды, имеющий в периферийной части потока области кавитации с зонами коллапса кавитационных пузырьков. 2 Затем обеспечивают контактирование зон коллапса потока с внутренней поверхностью мишени и получают рентгеновское излучение на наружной поверхности мишени. 2