Некоторые способы перехода служебных частей речи в самостоятельные:

• Переход предлогов из самостоятельных частей речи. 4 Например, отыменные предлоги (ввиду, в виде, в течение, за счёт, по поводу), отглагольные (благодаря, включая, исключая, начиная, спустя), наречные (вблизи, вокруг, напротив, вдаль). 4
• Переход союзов из самостоятельных частей речи. 23 Например, наречие переходит в союз (едва живой — едва он ушёл, как ему позвонили; чуть, пока). 3
• Переход частиц из самостоятельных частей речи. 13 Например, глагол переходит в частицу (пускай, давай, дай, смотри, было — смотри не упади). 3

Также существует субстантивация — переход прилагательных в существительные (портной, мостовая, горничная, приданое). 5