Некоторые способы измерения малых поверхностей в микроэлектронике:

• Зондовые методы. 1 Например, четырёхзондовый метод для измерения удельного сопротивления полупроводников в различных слоистых структурах. 1 На поверхности образца размещают четыре зонда, через крайние пропускают электрический ток, а между двумя внутренними измеряют разность потенциалов. 1
• Видеоизмерительный микроскоп (ВИМ). 2 Оптико-электронный прибор для бесконтактных и контактных измерений геометрических размеров объектов с использованием технологии анализа и обработки изображений. 2 С его помощью контролируют линейно-угловые параметры: длину, ширину, толщину, диаметры, радиусы, а также допуски отклонения формы и расположения поверхностей. 2
• Эллипсометрия. 5 Метод для исследования оптических параметров материалов, в том числе для определения кислородных вакансий, плотности носителей заряда, поляронных и фотонных свойств. 5 Для этого используют эллипсометры, которые состоят из источника света, гониометра для задания угла падения света, координатного стола для размещения образца и руки-анализатора отражённого света. 5