Какие существуют методы измерения сверхнизкого давления в современных технологиях?

Некоторые методы измерения сверхнизкого давления в современных технологиях:

• Люминесцентная термометрия на основе излучения люминофоров. pubs.rsc.org Колебания давления в системе коррелируют с изменениями соотношения интенсивностей полос излучения люминофоров, что позволяет проводить оптическое бесконтактное измерение вакуума. pubs.rsc.org
• Адсорбционный манометр. ufn.ru Метод основан на том, что число молекул, ударяющихся о поверхность в единицу времени, пропорционально давлению. ufn.ru Эти молекулы частично сорбируются поверхностью, и скорость адсорбции также пропорциональна величине давления. ufn.ru
• Устройство с измерительным вакуумводом. yandex.ru Вакуумвод выполнен в виде трубопровода из трёх последовательно соединённых камер, отделённых друг от друга сменными диафрагмами с калиброванными отверстиями. yandex.ru Первая камера вакуумвода сообщена с атмосферой через защитный фильтр, герметически закрыта регулируемым вентилем и соединена с образцовым вакуумметром. yandex.ru Третья камера герметично подключена к барокамере, в которой измеряется давление, и соединена гермотрубкой со штуцером статического давления датчика перепада. yandex.ru Вторая камера вакуумвода заключена между первой и третьей камерами, сообщается с ними через диафрагмы различного сечения и соединена гермотрубкой со штуцером динамического давления датчика перепада давления. yandex.ru