Некоторые методы измерения сверхнизкого давления в современных технологиях:

• Люминесцентная термометрия на основе излучения люминофоров. 1 Колебания давления в системе коррелируют с изменениями соотношения интенсивностей полос излучения люминофоров, что позволяет проводить оптическое бесконтактное измерение вакуума. 1
• Адсорбционный манометр. 2 Метод основан на том, что число молекул, ударяющихся о поверхность в единицу времени, пропорционально давлению. 2 Эти молекулы частично сорбируются поверхностью, и скорость адсорбции также пропорциональна величине давления. 2
• Устройство с измерительным вакуумводом. 3 Вакуумвод выполнен в виде трубопровода из трёх последовательно соединённых камер, отделённых друг от друга сменными диафрагмами с калиброванными отверстиями. 3 Первая камера вакуумвода сообщена с атмосферой через защитный фильтр, герметически закрыта регулируемым вентилем и соединена с образцовым вакуумметром. 3 Третья камера герметично подключена к барокамере, в которой измеряется давление, и соединена гермотрубкой со штуцером статического давления датчика перепада. 3 Вторая камера вакуумвода заключена между первой и третьей камерами, сообщается с ними через диафрагмы различного сечения и соединена гермотрубкой со штуцером динамического давления датчика перепада давления. 3