Какие существуют методы измерения барьерной емкости p-n перехода?

Некоторые методы измерения барьерной ёмкости p-n-перехода:

• Метод вольт-фарадных характеристик (ВФХ). vestnik.rsreu.ru lib.laop.ulstu.ru При этом методе измеряют зависимость ёмкости структуры от приложенного к ней напряжения. lib.laop.ulstu.ru На структуру подают два напряжения: постоянное, которое обеспечивает задание рабочей точки прибора, и переменное малой амплитуды, необходимое для измерения ёмкости структуры. lib.laop.ulstu.ru
• Резонансный метод. api.nntu.ru Для измерения используют лабораторный макет, генератор высокой частоты и ламповый вольтметр. api.nntu.ru Перед измерением резонансный контур настраивают в резонанс, критерием настройки служит максимум показаний высокочастотного вольтметра. api.nntu.ru Затем к схеме подключают варикап и задают необходимый режим по постоянному току. api.nntu.ru С помощью генератора высокой частоты устанавливают резонанс в контуре и фиксируют значение резонансной частоты. api.nntu.ru
• Зондовые методы. vestnik.rsreu.ru Их используют для локального измерения электрической ёмкости полупроводниковых структур. vestnik.rsreu.ru Для создания контакта в области исследования применяют зонд атомно-силового микроскопа. vestnik.rsreu.ru Зонд должен быть проводящим, желательно, чтобы он был целиком изготовлен из проводящего материала. vestnik.rsreu.ru