Какие существуют методы измерения барьерной емкости p-n перехода?

Некоторые методы измерения барьерной ёмкости p-n-перехода:

• Метод вольт-фарадных характеристик (ВФХ). 13 При этом методе измеряют зависимость ёмкости структуры от приложенного к ней напряжения. 3 На структуру подают два напряжения: постоянное, которое обеспечивает задание рабочей точки прибора, и переменное малой амплитуды, необходимое для измерения ёмкости структуры. 3
• Резонансный метод. 2 Для измерения используют лабораторный макет, генератор высокой частоты и ламповый вольтметр. 2 Перед измерением резонансный контур настраивают в резонанс, критерием настройки служит максимум показаний высокочастотного вольтметра. 2 Затем к схеме подключают варикап и задают необходимый режим по постоянному току. 2 С помощью генератора высокой частоты устанавливают резонанс в контуре и фиксируют значение резонансной частоты. 2
• Зондовые методы. 1 Их используют для локального измерения электрической ёмкости полупроводниковых структур. 1 Для создания контакта в области исследования применяют зонд атомно-силового микроскопа. 1 Зонд должен быть проводящим, желательно, чтобы он был целиком изготовлен из проводящего материала. 1