Некоторые методы ионизации в зависимости от агрегатного состояния вещества:

Для газовой фазы: 3

• электронная ионизация (ионизация паров образца потоком электронов, разогнанных в электрическом поле); 3
• химическая ионизация (ионизация вещества с помощью предварительно ионизированных молекул газа); 3
• электронный захват. 3

Для жидкой фазы: 3

• электроспрей (ионизация вещества в растворе полярного растворителя, содержащего катионы водорода или щелочных металлов); 3
• термоспрей; 3
• ионизация при атмосферном давлении. 3

Для твёрдой фазы: 3

• прямая лазерная десорбция; 3
• матрично-активированная лазерная десорбция (образец смешивают с веществом, которое имеет меньший молекулярный вес); 3
• масс-спектрометрия вторичных ионов; 3
• десорбция в электрическом поле. 3

Для ионизации проводящих материалов: 12

• Искровая ионизация. 12 За счёт разницы потенциалов между кусочком исследуемого материала и другим электродом возникает искра, вырывающая с поверхности мишени ионы. 12
• Ионизация в тлеющем разряде. 12 Происходит в разрежённой атмосфере инертного газа (например, в аргоне) между электродом и проводящим кусочком образца. 12
• Ударная (столкновительная) ионизация. 2 Кинетическая энергия летящей частицы может быть затрачена на совершение акта ионизации, если эта кинетическая энергия не меньше энергии ионизации. 2