Какие существуют методы диагностики наноструктур в электронике?

Некоторые методы диагностики наноструктур в электронике:

• Электронная микроскопия высокого разрешения. microsystems.ru Обеспечивает визуализацию структуры объектов с атомным разрешением. microsystems.ru Позволяет получить информацию о внутренней структуре и структуре границ раздела таких нанообъектов, как квантовые ямы и квантовые точки. microsystems.ru
• Методы сканирующей электронной микроскопии. microsystems.ru Дают возможность получить информацию без существенного воздействия на исследуемые объекты. microsystems.ru Позволяют узнать о химическом составе нанообъектов, их электрических, оптических и других свойствах. microsystems.ru
• Сканирующая туннельная микроскопия. microsystems.ru Поверхностно-чувствительный метод визуализации атомной структуры твёрдых тел. microsystems.ru Позволяет проводить спектроскопические исследования с атомным разрешением и манипулировать на уровне отдельных атомов. microsystems.ru
• Рентгендифракционные методы. microsystems.ru Дают уникальную информацию об атомной структуре нанообъектов без их разрушения. microsystems.ru
• Методы электронной спектроскопии. microsystems.ru Включают ожеэлектронную спектроскопию, фотоэлектронную спектроскопию, романовскую и ИК-спектроскопию, метод фотолюминесценции. microsystems.ru
• Методы нелинейной оптики. new-disser.ru Являются чувствительными к определённым свойствам материалов, которые важны для элементов микро- и наноэлектроники. new-disser.ru К таким свойствам относятся свойства поверхности, приповерхностных слоёв и границ раздела. new-disser.ru
• Энергодисперсионная рентгеновская спектроскопия. cchgeu.ru Позволяет получать карту распределения элементов по поверхности и производить количественный элементный анализ с пространственным разрешением 1–5 нм. cchgeu.ru