Некоторые методы диагностики наноструктур в электронике:

• Электронная микроскопия высокого разрешения. 2 Обеспечивает визуализацию структуры объектов с атомным разрешением. 2 Позволяет получить информацию о внутренней структуре и структуре границ раздела таких нанообъектов, как квантовые ямы и квантовые точки. 2
• Методы сканирующей электронной микроскопии. 2 Дают возможность получить информацию без существенного воздействия на исследуемые объекты. 2 Позволяют узнать о химическом составе нанообъектов, их электрических, оптических и других свойствах. 2
• Сканирующая туннельная микроскопия. 2 Поверхностно-чувствительный метод визуализации атомной структуры твёрдых тел. 2 Позволяет проводить спектроскопические исследования с атомным разрешением и манипулировать на уровне отдельных атомов. 2
• Рентгендифракционные методы. 2 Дают уникальную информацию об атомной структуре нанообъектов без их разрушения. 2
• Методы электронной спектроскопии. 2 Включают ожеэлектронную спектроскопию, фотоэлектронную спектроскопию, романовскую и ИК-спектроскопию, метод фотолюминесценции. 2
• Методы нелинейной оптики. 4 Являются чувствительными к определённым свойствам материалов, которые важны для элементов микро- и наноэлектроники. 4 К таким свойствам относятся свойства поверхности, приповерхностных слоёв и границ раздела. 4
• Энергодисперсионная рентгеновская спектроскопия. 5 Позволяет получать карту распределения элементов по поверхности и производить количественный элементный анализ с пространственным разрешением 1–5 нм. 5