Какие современные методы определения диаметра частиц существуют в микроэлектронике?

Некоторые современные методы определения диаметра частиц, которые могут использоваться в микроэлектронике:

• Лазерная дифракция. cyberleninka.ru Универсальный метод, подходящий для широкого диапазона размеров частиц, но его точность может снижаться при анализе наночастиц. cyberleninka.ru
• Динамическое светорассеяние (ДСР). www.microtrac.com Метод измерения частиц, который особенно подходит для анализа наночастиц. www.microtrac.com Преимущество — возможность проводить измерения в широком диапазоне концентраций. www.microtrac.com
• Анализ изображений. www.microtrac.com Есть два подхода: статический и динамический. www.microtrac.com При статическом анализе частицы находятся в состоянии покоя во время измерения, как под микроскопом. www.microtrac.com При динамическом анализе регистрируются движущиеся частицы либо в жидкости, либо в потоке воздуха, либо в свободном падении. www.microtrac.com
• Сканирующая электронная микроскопия (SEM). cyberleninka.ru Предоставляет точную морфологическую и размерную информацию о наночастицах. cyberleninka.ru Несмотря на высокое разрешение и детализацию, метод имеет низкую репрезентативность, высокую стоимость и требует длительной подготовки. cyberleninka.ru
• Метод затухания света. cyberleninka.ru Применяется для подсчёта частиц в средах с низкой концентрацией, например, в чистых помещениях или для анализа загрязнений. cyberleninka.ru
• Гравитационный седиментационный анализ. cyberleninka.ru Базируется на законе Стокса и подходит для определения размеров в широком диапазоне, однако требует точного знания плотности частиц. cyberleninka.ru