Какие преимущества имеет силановый метод газофазной эпитаксии перед хлоридным?

Некоторые преимущества силанового метода газофазной эпитаксии перед хлоридным:

• Замедление диффузии. rep.bntu.by ru.wikipedia.org Разложение в силановом методе происходит при температуре 1050 °C, что, по сравнению с хлоридным методом, замедляет диффузию и уменьшает вредный эффект автолегирования. rep.bntu.by ru.wikipedia.org
• Получение более резких переходов между слоями. rep.bntu.by ru.wikipedia.org Благодаря этому силановому методу удаётся получать плёнки с резким изменением концентрации примесей на границе пластина — эпитаксиальный слой. studizba.com
• Возможность регулирования процесса. studizba.com Силановый метод позволяет легко регулировать концентрацию силана в газовом потоке и выбирать диапазон скоростей, слабо зависящий от температуры. studizba.com
• Независимость скорости роста плёнки от кристаллографической ориентации пластины. elib.belstu.by Это связано с тем, что реакция разложения силана в условиях наращивания является необратимой. elib.belstu.by