Некоторые основные задачи диагностики в наноинженерии:
- изучение структурных, морфолого-топологических, механических, электрофизических, оптических, биологических характеристик наноматериалов и наносистем; 1
- анализ наноколичеств вещества; 1
- измерение метрических параметров с наноточностью. 1
Для решения этих задач используются различные методы диагностики, например:
- Сканирующая электронная микроскопия. 2 Позволяет получать информацию о химическом составе нанообъектов, их электрических и других свойствах без существенного воздействия на исследуемые объекты. 2
- Сканирующая туннельная микроскопия. 2 Поверхностно-чувствительный метод визуализации атомной структуры твёрдых тел. 2
- Рентгендифракционные методы. 2 Дают уникальную информацию об атомной структуре нанообъектов без их разрушения. 2
- Методы электронной спектроскопии. 2 Активно развиваются с повышением разрешающей способности и полезны при диагностике нанообъектов. 2
Также к задачам диагностики в наноинженерии относят диагностику структур in situ (то есть диагностику, встроенную в технологию). 3