Некоторые основные задачи диагностики в наноинженерии:
- изучение структурных, морфолого-топологических, механических, электрофизических, оптических, биологических характеристик наноматериалов и наносистем; www.omgtu.ru
- анализ наноколичеств вещества; www.omgtu.ru
- измерение метрических параметров с наноточностью. www.omgtu.ru
Для решения этих задач используются различные методы диагностики, например:
- Сканирующая электронная микроскопия. tstu.ru Позволяет получать информацию о химическом составе нанообъектов, их электрических и других свойствах без существенного воздействия на исследуемые объекты. tstu.ru
- Сканирующая туннельная микроскопия. tstu.ru Поверхностно-чувствительный метод визуализации атомной структуры твёрдых тел. tstu.ru
- Рентгендифракционные методы. tstu.ru Дают уникальную информацию об атомной структуре нанообъектов без их разрушения. tstu.ru
- Методы электронной спектроскопии. tstu.ru Активно развиваются с повышением разрешающей способности и полезны при диагностике нанообъектов. tstu.ru
Также к задачам диагностики в наноинженерии относят диагностику структур in situ (то есть диагностику, встроенную в технологию). kaf-theor-phys.univer.kharkov.ua