Некоторые виды масс-спектрометров, которые используются для точного измерения массы изотопов:

• Масс-спектрометры с изотопным соотношением (IRMS). 4 Позволяют измерять относительное содержание изотопов в образце. 4 Большинство таких приборов относятся к магнитному секторному типу. 4
• Масс-спектрометры ионно-циклотронного резонанса. 35 Отличаются высоким разрешением и способностью определять массы в широком диапазоне. 2 На массе около 500 а.е.м. такое устройство позволяет измерять массу ионов с точностью до 4–5 знаков после запятой. 3
• Времяпролётные масс-анализаторы. 23 В основе принципа действия прибора лежит зависимость скорости движения заряженных частиц от их массы. 2 Разрешения таких масс-анализаторов хватает лишь для того, чтобы измерить массу иона с точностью +/- десятки а.е.м.. 3
• Ионные ловушки. 3 В узком диапазоне масс такие приборы могут работать как масс-спектрометры высокого разрешения, обеспечивая разделение пиков, отстоящих на 1/4 а.е.м. друг от друга. 3

Для анализа изотопного состава лёгких элементов (углерод, водород, кислород, сера, азот и т. д.) используется ионизация электронным ударом. 3 Для изотопов более тяжёлых элементов — термоионизация или ионизация в индуктивно-связанной плазме. 3