Некоторые основные методы, которые используются для исследования структуры твёрдых тел:

• Рентгенографические методы. 1 Позволяют устанавливать связь между химическим составом, структурой и свойствами тела, тип твёрдых растворов, микронапряжения, концентрацию дефектов, плотность дислокаций. 1
• Сканирующая зондовая микроскопия. 5 Позволяет исследовать морфологию поверхности материалов с микро- и наноразмерной организацией рельефа. 5
• Оже-электронная спектроскопия. 5 Даёт возможность проводить качественную и количественную оценку элементного состава ультратонких слоёв материала (от нескольких атомных слоёв). 5
• Рентгенофотоэлектронная спектроскопия (РФЭС). 4 Метод позволяет изучать химический состав и структуру поверхности, исследовать электронную структуру твёрдых тел, получать изображения поверхности с атомарным разрешением, манипулировать атомами на поверхности и изучать процессы, протекающие на поверхности. 4