В сканирующей зондовой микроскопии (СЗМ) для изучения микроструктур применяют различные методы, среди которых:

• Метод постоянной тока (МПТ). 1 В процессе сканирования с помощью системы обратной связи поддерживают постоянную величину туннельного тока. 1 Вертикальное смещение сканера отражает рельеф поверхности. 1
• Метод постоянной высоты (МПВ). 1 Сканер перемещает зонд только в плоскости, изменения тока между остриём зонда и поверхностью образца отражают рельеф поверхности. 1 Этот метод применяют к образцам с очень ровной поверхностью. 1
• Силовая спектроскопия. 3 Статический или динамический (колеблющийся) зонд сближается с поверхностью образца в заранее выбранной точке в пределах участка сканирования. 3 Регистрируют силы, действующие на острие в зависимости от перемещения зонда. 3
• Метод модуляции силы. 1 Широко используется при исследованиях полимеров, полупроводников, биообъектов, в особенности при исследованиях композитов. 1
• Сканирующий магнитооптический микроскоп (СМОМ). 2 Позволяет изучать магнитные свойства поверхности за счёт магнитооптического эффекта Керра. 2

Общим для всех методов СЗМ является наличие заострённого зонда, который работает с поверхностью образцов. 1