Некоторые методы, которые применяются для измерения рельефа поверхности в сканирующей микроскопии:

• Растровое сканирование. 2 Зонд движется над образцом вдоль определённой линии (строчная развёртка). 2 Величина сигнала на исполнительном элементе, пропорциональная рельефу поверхности, записывается в память компьютера. 2 Затем зонд возвращается в исходную точку и переходит на следующую строку сканирования (кадровая развёртка), и процесс повторяется вновь. 2
• Особенность-ориентированное позиционирование (ООП). 1 Метод прецизионного перемещения зонда сканирующего микроскопа по исследуемой поверхности, при котором особенности поверхности используются в качестве опорных точек (точек привязки зонда). 1
• Сканирующий туннельный микроскоп. 4 Предназначен для измерения рельефа проводящих поверхностей с высоким пространственным разрешением. 4 В СТМ острая металлическая игла проводится над образцом на очень малом расстоянии. 4 При подаче на иглу небольшого тока между ней и образцом возникает туннельный ток, величину которого фиксирует регистрирующая система. 4
• Сканирующий атомно-силовой микроскоп. 4 Используется для построения структуры поверхности образца с разрешением до атомарного. 4 С помощью этого микроскопа можно исследовать как проводящие, так и непроводящие поверхности. 4
• Ближнепольный оптический микроскоп. 4 Обеспечивает разрешение лучше, чем у обычного оптического. 4 Повышение разрешения достигнуто путём улавливания света от изучаемого объекта на расстояниях меньших, чем длина волны. 4