Для измерения концентрации электронов проводимости в полупроводниках применяются различные методы, например:

• Электрические методы. 1 Регистрируются изменения электрических величин (проводимости, постоянной Холла, ёмкости и других) при изменении температуры полупроводника. 1 Затем находится вид температурной зависимости концентрации электронов и вычисляется ширина запрещённой зоны. 1
• СВЧ-методы. 3 Позволяют проводить измерения, не разрушая материал и не изменяя его свойств в ходе измерения. 3 С их помощью можно определить удельную проводимость и диэлектрическую проницаемость полупроводника, время жизни носителей заряда, подвижность, эффективную массу носителей заряда и другие параметры. 3
• Резонаторные методы. 34 Для их применения необходимо установить резонансную частоту резонатора, её изменение при внесении исследуемого образца и добротность резонатора. 3 Проводимость измеряется по частотным зависимостям проходящей через резонатор мощности. 3

Выбор метода зависит от специфики контролируемого полупроводникового материала, геометрии образца, типа структуры и других факторов. 4